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特点:高速高效磨削、使用寿命长、材料去除效率高、加工工件表面损伤层低、光洁度高。
应用:主要用于多晶硅的磨方、倒角、磨面,单晶硅的磨面、滚圆。
主要用于多晶硅的磨方、倒角、磨面,单晶硅的磨面、滚圆。可实现高速高效磨削,使用寿命长,材料去除效率高; 加工工件表面损伤层低、光洁度高。
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